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六氟化钨


抖化学 / 2022-10-13

 六氟化钨化学品安全技术说明书

第一部分 化学品及企业标识
化学品中文名:六氟化钨
化学品英文名:tungsten hexafluoride;tungstenfluoride
企业名称:西陇化工股份有限公司
生产企业地址:广东省汕头市潮汕路西陇中街1-3号
邮 编: 515064 传 真: 0754-82481768
企业应急电话:0598-7509639
电子邮件地址:339904316@qq.com
网站地址:https://www.999gou.cn/
第二部分 成分/组成信息
√ 纯品            混合物
有害物成分 浓度 CAS No.
六氟化钨 7783-82-6
化学特性:六氟化钨是一种无机化合物,化学式WF6,分子量297.84,为无色气体或淡黄色液体,有强刺激性。有毒,其毒性与氟相似。温度很低时呈白色固体。能溶于有机溶剂并产生特殊的颜色。遇水分解。在空气中被潮气分解而强烈冒烟,生成黄钨酸或三氧化钨。化学性质活泼。几乎能和所有的金属(除金和铂)反应。是一种强氟化剂,除镍、蒙乃尔合金和不锈钢外,在室温下能使许多金属氟化。在干燥状态时对玻璃的腐蚀较弱,但在湿气中能迅速反应。与离子型卤化物反应可形成配位化合物,在高温下可被氢还原为钨。
产品用途:六氟化钨是唯一能稳定存在的钨的氟化物,具有极强的腐蚀性,可根据外界环境的变化表现出灵活的物化性能,被广泛应用于工业生产的各个领域。六氟化钨在电子工业中主要作为集成电路的配线材料使用,其在经过化学气相沉积工艺后可形成金属钨导体膜,钨导体膜在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔和垂直接触的接触孔以及铝和硅间的隔离层,因此被广泛应用于半导体集成领域;另外,六氟化钨还可以应用于太阳能吸收器以及X射线发射电极的制造、导电浆糊等电子元器原材料。
生产方法:由金属钨粉与元素氟直接反应合成。
第三部分 危险性概述
危险性类别:第2.3类 有毒气体
侵入途径:吸入、食入
健康危害:六氟化钨遇潮湿、空气或水分解,散发出剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。本品可引起眼睛、皮肤和粘膜非常严重的灼伤。
环境危害:对环境有害。
燃爆危险:不燃,无特殊燃爆特性。遇水产生有毒气体。
第四部分 急救措施
皮肤接触:立即脱去污染的衣着,用大量流动清水冲洗20~30分钟。如有不适感,就医。
眼睛接触:立即提起眼睑,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10~15分钟。如有不适感,就医。
吸  入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。呼吸、心跳停止,立即进行心肺复苏术。就医。
食  入:用水漱口,给饮牛奶或蛋清。就医。
第五部分 消防措施
危险特性:能与许多物质发生化学反应。遇潮气、空气或水解, 放出有毒的腐蚀性氟化氢气体。腐蚀性很强, 能侵蚀几乎所有的金属, 能迅速腐蚀湿的玻璃。
有害燃烧产物:无意义。
灭火方法:迅速切断气源,然后根据着火原因选择适当灭火剂灭火。
灭火注意事项及措施:消防人员必须佩戴空气呼吸器、穿全身防火防毒服,在上风向灭火。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷却,直至灭火结束。禁止用水、泡沫和酸碱灭火剂灭火。
第六部分 泄漏应急处理
应急行动:根据气体的影响区域划定警戒区,无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。建议应急处理人员穿内置正压自给式呼吸器的全封闭防化服。禁止接触或跨越泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止气体通过下水道、通风系统和密闭性空间扩散。喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向,避免水流接触泄漏物。禁止用水直接冲击泄漏物或泄漏源。隔离泄漏区直至气体散尽。
第七部分 操作处置与储存
操作注意事项:密闭操作,提供充分的局部排风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具(全面罩),穿密闭型防毒服,戴橡胶手套。防止气体或蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与活性金属粉末接触。尤其要注意避免与水接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈,防止钢瓶碰撞、损坏。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项:储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。库温不宜超过30℃。远离火种、热源。保持容器密封。应与活性金属粉末等分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
第八部分 接触控制/个体防护
接触限值:
MAC(mg/m3): - PC-TWA(mg/m3): 2[按F计]
PC-STEL(mg/m3): 5*[按F计] TLV-C(mg/m3): -
TLV-TWA(mg/m3): 2.5[按F计];5[按W计] TLV-STEL(mg/m3): 10[按W计]
监测方法:氟的测量方法:离子选择性电极法;钨的测量方法:硫氰酸钾分光光度法。
工程控制:严加密闭,提供充分的局部排风。
呼吸系统防护:可能接触其蒸气时,必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)。紧急事态抢救或撤离时,应该佩戴空气呼吸器。
眼睛防护:呼吸系统防护中已作防护。
身体防护:穿密闭型防毒服。
手 防 护:戴橡胶手套。
其他防护:工作完毕,淋浴更衣。定期体检。
第九部分 理化特性
外观与性状:无色气体或浅黄色液体或固体,固体为易潮解的白色结晶, 接触潮湿空气冒烟。
pH值: 无意义 熔点(℃): 2.5
沸点(℃): 17.5 相对密度(水=1): 3.44(15℃)
相对蒸气密度(空气=1): 无资料 临界温度(℃): 171
临界压力(MPa): 0.45 辛醇/水分配系数: 无资料
闪点(℃): 无意义 引燃温度(℃): 无意义
爆炸下限[%(V/V)]: 无意义 爆炸上限[%(V/V)]: 无意义
溶解性:溶于多数有机溶剂。
主要用途:六氟化钨用于钨的化学蒸镀, 用作氟化剂。
第十部分 稳定性和反应性
稳定性:稳定
禁配物:水、活性金属粉末。
避免接触的条件:潮湿空气。
聚合危害:不聚合
分解产物:氟化氢。
第十一部分 毒理学资料
急性毒性:
LD50:
LC50:
大鼠吸入LC50(mg/m3): 1430mg/m3
刺激性:
第十二部分  生态学资料
生态毒性:
生物降解性:
非生物降解性:
其他有害作用:无资料。
第十三部分 废弃处置
废弃物性质:危险废物
废弃处置方法:根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系,确定处置方法。
废弃注意事项:处置前应参阅国家和地方有关法规。
第十四部分 运输信息
危险货物编号:23025
UN编号:2196
包装类别:Ⅱ类包装
包装标志:有毒气体;腐蚀品
包装方法:钢质气瓶。
运输注意事项:铁路运输时应严格按照铁道部《危险货物运输规则》中的危险货物配装表进行配装。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放,并应将瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。严禁与活性金属粉末、食用化学品、等混装混运。夏季应早晚运输,防止日光曝晒。公路运输时要按规定路线行驶,禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。
第十五部分 法规信息
法规信息:下列法律法规和标准,对化学品的安全使用、储存、运输、装卸、分类和标志等方面均作了相应的规定:
  中华人民共和国安全生产法(2002年6月29日第九界全国人大常委会第二十八次会议通过);
  中华人民共和国职业病防治法(2001年10月27日第九界全国人大常委会第二十四次会议通过);
  中华人民共和国环境保护法(1989年12月26日第七届全国人大常委会第十一次会议通过);
  危险化学品安全管理条例(2002年1月9日国务院第52次常务会议通过);
  安全生产许可证条例(2004年1月7日国务院第34次常务会议通过);
  常用危险化学品的分类及标志(GB 13690-92);
  工作场所有害因素职业接触限值(GBZ 2-2002);
  危险化学品名录;
  高毒物品目录。
第十六部分 其他信息
填表时间:  2022年10月13日
填表部门:      研发部
数据审核单位:
修改说明:       暂无

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