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四氟甲烷


MSDS安全员 / 2020-09-08

 四氟甲烷

四氟甲烷MSDS化学品安全技术说明书
第一部分 化学品及企业标识
化学品中文名:四氟甲烷;制冷剂R-14;四氟化碳
化学品英文名:tetrafluoromethane;carbon tetrafluoride
化学性质:四氟甲烷俗称四氟化碳化学式CF4分子量88是一种卤代烃,它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。零下198 °C时,四氟化碳具有单斜的结构,晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° 。属于完全不燃气体,无色,无味,无嗅气体。不溶于水,常压下25℃时为0.0015,溶于氯仿和苯。本品无毒、不燃。高浓度时有麻醉作用。其高纯气及其配高纯氧气的混合气,是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,也可作为低温制冷剂、低温绝缘介质。化学稳定性及热稳定性均好,对许多试剂呈惰性,在1000℃下不水解。常温下不与铜、镍和钨反应。由于C-F键的化学稳定性极强,因此以CF4为代表的全氟烃可认为是基本无毒的。
化学用途:四氟甲烷用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体,或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。是目前微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯阳氧气的混合体,可 广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
生产方法:1.由碳与氟反应,或一氧化碳与氟反应,或碳化硅与氟反应,或氟石与石油焦在电炉里反应,或二氟二氯甲烷与氟化氢反应,或四氯化碳与氟化银反应,或四氯化碳与氟化氢反应,都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,用硅胶除去气体中的水分,最后经精馏而得成品。
2.预先称取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉,置于镍盘中,使硅和碳化硅充分接触后,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,氟气先和单质硅反应,反应放热后,氟开始和碳化硅进行反应,通入等体积的干燥氮气以稀释氟气,使反应继续进行,生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝,然后慢慢地气化后,将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅,随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到最终产品。
3.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中,缓缓通入高浓氟气,并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘,碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏,通过控制精馏温度,除去O2、N2、H2,得到高纯CF4。
企业名称:西陇化工股份有限公司
生产企业地址:广东省汕头市潮汕路西陇中街1-3号
邮 编: 515064 传 真: 0754-82481768
企业应急电话:400-7788689
电子邮件地址:339904316@qq.com
网站地址:https://www.999gou.cn/
技术说明书编码: 
第二部分 成分/组成信息
√ 纯品            混合物
有害物成分 浓度 CAS No.
四氟甲烷 75-73-0
第三部分 危险性概述
危险性类别:第2.2类 不燃气体
侵入途径:吸入
健康危害:四氟甲烷高浓度有麻醉作用。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
环境危害:对环境有害。
燃爆危险:四氟甲烷不燃,无特殊燃爆特性。
第四部分 急救措施
皮肤接触:立即脱去污染的衣着,用大量流动清水冲洗20~30分钟。如有不适感,就医。
眼睛接触:立即提起眼睑,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10~15分钟。如有不适感,就医。
吸  入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。呼吸、心跳停止,立即进行心肺复苏术。就医。
食  入:不会通过该途径接触。
第五部分 消防措施
危险特性:不燃。若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。
有害燃烧产物:无意义。
灭火方法:本品不燃。根据着火原因选择适当灭火剂灭火。
灭火注意事项及措施:消防人员须佩戴防毒面具、穿全身消防服,在上风向灭火。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。
第六部分 泄漏应急处理
应急行动:根据气体的影响区域划定警戒区,无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。建议应急处理人员戴正压自给式呼吸器,穿一般作业工作服。液化气体泄漏时穿防寒服。禁止接触或跨越泄漏物。尽可能切断泄漏源。喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向,避免水流接触泄漏物。禁止用水直接冲击泄漏物或泄漏源。若可能翻转容器,使之逸出气体而非液体。防止气体通过下水道、通风系统和密闭性空间扩散。漏出气允许排入大气中。泄漏场所保持通风。
第七部分 操作处置与储存
操作注意事项:密闭操作,全面通风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项:储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
第八部分 接触控制/个体防护
接触限值:
MAC(mg/m3): 未制定标准 PC-TWA(mg/m3): 未制定标准
PC-STEL(mg/m3): 未制定标准 TLV-C(mg/m3): 未制定标准
TLV-TWA(mg/m3): TLV-STEL(mg/m3): 
监测方法:无资料。
工程控制:生产过程密闭,全面通风。
呼吸系统防护:一般不需要特殊防护,高浓度接触时可佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。
眼睛防护:一般不需特殊防护。
身体防护:穿一般作业工作服。
手 防 护:戴一般作业防护手套。
其他防护:避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业,须有人监护。
第九部分 理化特性
外观与性状:无色无味气体。
pH值: 无意义 熔点(℃): -183.6
沸点(℃): -127.8 相对密度(水=1): 1.89
相对蒸气密度(空气=1): 3.04 饱和蒸气压(kPa): 13.33(-150.7℃)
临界温度(℃): -45.5 临界压力(MPa): 3.74
辛醇/水分配系数: 1.18 闪点(℃): 无意义
引燃温度(℃): 无意义 爆炸下限[%(V/V)]: 无意义
爆炸上限[%(V/V)]: 无意义
溶解性:不溶于水。
主要用途:四氟甲烷用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。
第十部分 稳定性和反应性
稳定性:稳定
禁配物:强氧化剂、易燃或可燃物、金属等。
避免接触的条件:
聚合危害:不聚合
分解产物:氟化氢。
第十一部分 毒理学资料
急性毒性:
LD50:
LC50:
大鼠吸入LC50(mg/m3): 895000ppm/15M
刺激性:
第十二部分  生态学资料
生态毒性:
生物降解性:
非生物降解性:
其他有害作用:该物质对环境可能有危害,应特别注意对大气的污染。氟代烃在低层大气中比较稳定,而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。
第十三部分 废弃处置
废弃物性质:危险废物
废弃处置方法:根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系,确定处置方法。
废弃注意事项:把空容器归还厂商。
第十四部分 运输信息
危险货物编号:22033
UN编号:1982
包装类别:Ⅲ类包装
包装标志:不燃气体
包装方法:钢质气瓶。
运输注意事项:采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放,并应将瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、氧化剂、等混装混运。夏季应早晚运输,防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。
第十五部分 法规信息
法规信息:下列法律法规和标准,对化学品的安全使用、储存、运输、装卸、分类和标志等方面均作了相应的规定:
  中华人民共和国安全生产法(2002年6月29日第九界全国人大常委会第二十八次会议通过);
  中华人民共和国职业病防治法(2001年10月27日第九界全国人大常委会第二十四次会议通过);
  中华人民共和国环境保护法(1989年12月26日第七届全国人大常委会第十一次会议通过);
  危险化学品安全管理条例(2002年1月9日国务院第52次常务会议通过);
  安全生产许可证条例(2004年1月7日国务院第34次常务会议通过);
  常用危险化学品的分类及标志(GB 13690-92);
  工作场所有害因素职业接触限值(GBZ 2-2002);
  危险化学品名录;
  高毒物品目录。
第十六部分 其他信息
填表时间:  2020年9月8日
填表部门:      研发部
数据审核单位:
修改说明:       暂无

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